PELCO® Tripod Polisher™ 590TEM, 590SEM, 590TS 

PELCO® Tripod Polisher™ 590 был разработан исследователями из лаборатории IBM East Fishkill* для точной подготовки образцов для ТЭМ и РЭМ с заранее определенными областями микронного размера. Для образцов ТЭМ эта технология была успешно использована для ограничения времени ионного фрезерования до менее чем 15 минут, а в некоторых случаях и устраняла необходимость в ионном фрезеровании. Хотя эта техника была разработана для подготовки поперечных срезов полупроводников, она использовалась для подготовки образцов как в плане, так и в поперечном сечении из таких различных материалов, как керамика, композиты, металлы и геологические образцы.

Особенности и преимущества Tripod Polisher™ 590

• точное поперечное сечение на уровне ТЭМ;
• повторяющееся и быстрое изготовление образцов для ТЭМ;
• сокращение времени ионного фрезерования до минут, а не часов;
• получение больших тонких участков по всему образцу.

Работа с Tripod Polisher™ 590 — стандартная техника

PELCO® Tripod Polisher™ 590 можно использовать для подготовки образца к анализу поперечного сечения как в РЭМ, так и в ТЭМ. Для этого образец устанавливается на поверхность специальной шпильки SEM, которая зажимается в щелевой L-образный кронштейн прибора. Первоначальная шлифовка производится на алмазном диске с металлической связкой диаметром 15 мкм. Дальнейшая притирка и полировка продолжается с помощью последовательности алмазных пленок размером от 30 мкм до 0,5 мкм. Окончательная полировка производится с помощью суспензии коллоидного кремнезема. По мере притирки два задних микрометра используются для регулировки плоскости полировки. 

При периодических осмотрах в инвертированном микроскопе плоскость полировки регулируется до тех пор, пока она не станет параллельной интересующей плоскости. В этот момент шпильку SEM можно переместить в ионную мельницу для быстрого фрезерования для удаления мелких царапин, остатков полировки и придания необходимой топографии поверхности перед анализом СЭМ. Шпильку можно установить непосредственно в электронный микроскоп для анализа. 

По окончании анализа делается образец для ТЭМ той же области. Образец снимается со шпильки РЭМ и крепится к одноапертурной решетке РЭМ. Щелевой L-образный кронштейн снимается, и сетка ТЭМ крепится к круглому держателю образца, который прикреплен к центру полировальника. Теперь образец механически истончается с помощью алмазной притирочной пленки. Во время этого процесса образец периодически осматривается в инвертированный микроскоп, а микрометры регулируются для поддержания правильной плоскости полировки. Образец окончательно полируется до 1 мкм или менее, а затем подвергается ионному фрезерованию в течение 15 минут.

Работа с Tripod Polisher™ 590 — клиновая техника

Преференциальное утончение и рельеф поверхности, возникающие в образцах с кратковременным ионным фрезерованием, затрудняют изучение границ раздела между разнородными материалами. Эти проблемы можно уменьшить, полностью исключив этап ионного фрезерования и механически отполировав образец до прозрачности для электронов с помощью клиновой техники. 

В этом методе шпилька SEM заменяется в щелевой L-образной скобе вставкой из Pyrex®. Образец устанавливается на лицевую сторону этой вставки. После получения интересующей плоскости образец удаляется и устанавливается на нижнюю часть вставки Pyrex®. Два задних микрометра настраиваются, и ближайший к образцу микрометр втягивается для получения клиновидной формы по мере удаления материала с образца. 

Образец с интересующими элементами на вершине клина утончается с обратной стороны до тех пор, пока толщина интересующего края не достигнет ~1 мкм. Затем образец обрабатывается на ткани для окончательной полировки, такой как наша ткань MultiTex Cloth (номер продукта 816-12) с суспензией коллоидного диоксида кремния до тех пор, пока не будут видны границы толщины (менее нескольких тысяч ангстрем). Затем образец извлекается из вставки Pyrex® и прикрепляется к одноапертурной решетке ТЭМ для анализа.

Варианты поставки

59100 PELCO® Tripod Polisher™ 590TEM – прецизионное утонение образца для ТЭМ

Включает: База с 3 микрометрическими узлами, набор шестигранных драйверов, воск для крепления образцов, кейс, принадлежности 590TEM, перечисленные в таблице ниже

59200 PELCO® Tripod Polisher™ 590SEM – прецизионная подготовка образцов для РЭМ

Включает: Основание с 2 микрометрическими узлами, набор шестигранных драйверов, воск для крепления образцов, кейс, принадлежности 590SEM, перечисленные в таблице ниже

59300 PELCO® Tripod Polisher™ 590TS – сконфигурирован для подготовки образцов для SEM и TEM

Включает: База с 3 микрометрическими узлами, набор шестигранных драйверов, воск для крепления образцов, кейс, принадлежности 590TS, перечисленные в таблице ниже

Входящие в комплект принадлежности

Стартовый комплект PELCO® Tripod Polisher™ 590