+7 812 383 99 41

Свяжитесь с нами Начать диалог в Ватсап

Товары собственного производства

конкурентные цены

высокое качество

индивидуальный подход

 208HR Напылитель покрытия высокого разрешения для FESEM-приложений 

Вы можете ознакомиться с характеристиками и купить товар "Напылитель покрытий 208HR" по выгодной цене, которую следует уточнить, сделав запрос.

Ted Pella, inc.

Мы представляем Ted Pella, inc.


Вам также доступны следующие материалы:

Описание прибора на сайте поставщика

Напылительные установки высокого разрешения 208HR компании Cressington предлагают реальные решения проблем, возникающих при нанесении покрытий на сложные образцы для получения изображений методом FESEM. Для FESEM-приложений необходимы чрезвычайно тонкие, мелкозернистые, однородные покрытия для устранения заряда и улучшения контраста на материалах с низкой плотностью. Чтобы минимизировать влияние размера зерна, 208HR предлагает полный спектр материалов для нанесения покрытий и обеспечивает беспрецедентный контроль над толщиной и условиями осаждения. Высоковакуумная система 208HR с турбонасосом предлагает широкий диапазон рабочих давлений, позволяя точно контролировать равномерность и соответствие покрытия, минимизируя эффект зарядки. Конфигурация камеры HIGH/LOW позволяет легко регулировать расстояние от мишени до образца. Измеритель толщины высокого разрешения MTM-20 имеет разрешение более 0,1 нм. Это позволяет получать точные и воспроизводимые тонкие покрытия, особенно в диапазоне 0,5 - 3 нм — толщина, желательная для применения в FESEM.

Предпочтительными материалами покрытия для применения в FESEM являются:

  • Pt/Pd: материал покрытия общего назначения с высоким разрешением для непроводящих образцов.
  • Cr: отлично подходит для полупроводниковых материалов и визуализации обратно рассеянных электронов с высоким разрешением.
  • Ir: превосходный, практически беззернистый материал покрытия.

Система 208HR доступна в нескольких конфигурациях, что позволяет получать покрытия с наилучшим высоким разрешением для ваших задач. Система 208HR может поставляться со стандартным роторным насосом для нанесения покрытий или насосом с сухими спиралями для применения в чистых помещениях. Стандартная модель 208HR включает в себя как хром, так и платину/палладий в качестве целевых материалов. Также имеется модель 208HR Iridium, включающая иридиевую мишень, обеспечивающую превосходное мелкозернистое покрытие для получения высокоразрешающих FE-SEM изображений на широком спектре образцов.

Основные характеристики

Широкий выбор материалов покрытий. Конструкция магнетронной головки и эффективное управление газом обеспечивают широкий выбор материалов мишени.

Точный контроль толщины. Толщина оптимизирована для рабочего напряжения FESEM с помощью регулятора толщины высокого разрешения MTM-20.

Многоугловые перемещения столика. Раздельные вращательные, планетарные и наклонные движения стола обеспечивают равномерное покрытие с отличным соответствием, даже на образцах с высоким рельефом.

Несколько держателей образцов. Четыре держателя для образцов с возможностью установки образцов диаметром до 32 мм.

Изменяемая геометрия камеры. Геометрия камеры используется для регулировки скорости осаждения для оптимизации структуры.

Широкий диапазон рабочих давлений. Независимая регулировка мощности и давления позволяет работать при давлении газа аргона в диапазоне 0,2-0,005 мбар.

Компактный, современный, настольный дизайн. Компактная и энергосберегающая конструкция исключает необходимость в дополнительной занимаемой площади, воде или специализированных электрических соединениях.

Простота эксплуатации. Эксплуатация и настройка системы очень похожи на стандартное напыление и не требуют дополнительной очистки по сравнению с ионно-лучевыми установками.

 Высокая конфигурация 208HR

Высокая конфигурация 208HR

 Контроллер толщины высокого разрешения MTM-20

Контроллер толщины высокого разрешения MTM-20

Конфигурации и краткие технические характеристики системы 208HR 

  • Система нанесения покрытий 208HR с камерой диаметром 150 мм и переменной высотой 165 - 250 мм.
  • Магнитронная распылительная головка, затвор, Cr & Pt/Pd мишень или Ir мишень стандарт. В качестве опции доступны следующие мишени: Ag, Au, Au/Pd, Cr, Cu Fe, Ir, Mo, Nb, Ni, Pd, Pt, Pt/Pd, Ta.
  • Подача напыления с полным микропроцессорным управлением и цифровым независимым контролем тока.
  • Насосная система с комбинацией турбонасоса и роторного насоса, обеспечивающая быструю откачку.
  • Настольная система с полностью металлической муфтой и антивибрационным столом для роторного насоса..
  • Для применения в чистых помещениях предлагается дополнительный насос с сухой спиралью.
  • Встроенный турбомолекулярный насос обеспечивает быструю откачку в сочетании с высокой положительной скоростью откачки во время процесса напыления.
  • Этап отбора образцов RPT с регулируемой скоростью и 4 выбираемыми держателями образцов
  • Контроллер толщины высокого разрешения MTM-20, микропроцессорный контроллер с разрешением 0,1 нм.

 Напылитель высокого разрешения 208HR является комплексным решением и включает в себя: насосную систему, регулятор толщины MTM-20, вращающуюся планетарно-наклонную платформу с 4 держателями образцов, Cr & Pt/Pd мишени или Ir мишени. 

Поворотно-планетарные наклонные и поворотно-наклонные платформы для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE

Дополнительная роторно-планетарно-наклонная RPT-платформа (#9524) 

Роторно-планетарно-наклонная RPT-платформа (#9524)

Дополнительная поворотно-вращательная платформа (#9660)

Поворотно-вращательная платформа (#9660)

Существует два типа вращающихся платформ для напылителей покрытия Cressington серий 108/SE и 208:

1. Вращательно-планетарно-наклонная (R-P-T) платформа; эта платформа обеспечивает многоугольное перемещение нескольких образцов для нанесения напыления и испарения углеродного покрытия. Стадия R-P-T может быть сконфигурирована с 4 специальными держателями для большинства типов креплений SEM, креплений для больших образцов и поперечных сечений. R-P-T обеспечивает лучшую однородность и более равномерное покрытие на топографических образцах, чем при использовании статического столика. Она позволяет наносить покрытие на большее количество образцов. R-P-T подходит ко всем большим конфигурациям камер, используемых в сериях 208 и 108/SE установок для нанесения покрытий Cressington. Со специальными адаптерами для больших образцов платформа R-P-T может использоваться в качестве поворотной платформы.

2. Вращательно-наклонная (R-T) платформа; эта платформа в основном используется для больших образцов на установках 208C и 108carbon/SE. Она также полезна для теневой техники на высоковакуумном турбоуглеродном покрытии 208C. Платформа R-T сконфигурирована для размещения стандартных стеклянных слайдов 1" x 3", обычно используемых для изготовления углеродных опорных пленок. 

Обе платформы R-P-T и R-T встроены в монтажный хомут диаметром 150 мм, что позволяет быстро изменять конфигурацию. Также в комплект входят стеклянные и металлические прокладки для регулировки высоты камеры, регулятор скорости вращения и внешняя регулировка наклона с рычагом блокировки. (Примечание: Регулировка наклона составляет 0-90° без датчика контроля толщины, но ограничена 0-60° при установке датчика контроля толщины).

Информация для заказа

9524 Вращательно-планетарно-наклонная (R-P-T) платформа (переменная скорость с питанием от батареи 9 В)

9660 Вращательно-наклонная (R-T) платформа (переменная скорость с питанием от батареи 9 В)

Универсальный адаптер переменного тока для Cressington R-P-T и R-T

 Универсальный адаптер переменного тока для Cressington R-P-T и R-T

Универсальный комплект адаптера переменного тока для замены батареи 9 В в платформах R-P-T и R-T. Вход 100-240 В переменного тока, 50/60 Гц. Выход 9 В. В комплекте с набором наиболее популярных вилок питания.

Информация для заказа

9631 Комплект адаптера R-P-T или R-T 9VDC, 100-240VAC 50/60Hz

Технические характеристики напылителя покрытия высокого разрешения  208HR

Напылительная головка 

  • Низковольтный планарный магнетрон 
  • Быстрая смена мишени
  • Обхватывающий экран темного пространства 
  • Затвор для кондиционирования мишени

Мишени 

  • Cr, Pt/Pd (стандарт) или IR (иридиевое покрытие)
  • опционально: Au, Au/Pd, Cu, Ni, Pd, Pt, Ta, Ti и W

Подача напыления 

  • Микропроцессорная система 
  • Защитная блокировка 
  • Контроль постоянного тока независимо от вакуума
  • Цифровой выбор тока (20, 40, 60 или 80 мА)

Размер камеры 

  • 150 мм OD (6")
  • Переменная высота, 165 - 250 мм (6,5" - 9,8"), включая стеклянный цилиндр (65 мм В и 2 металлических проставочных кольца)

Платформа для образцов 

  • Неповторяющееся вращательное, планетарное движение с ручным наклоном 0-90° 
  • Вращение с переменной скоростью 
  • Кристаллическая головка 
  • 4 держателя образцов (указать при заказе)

Аналоговое измерение

  • Вакуум Атм - .001мб 
  • Ток 0-100 мА

Метод управления 

  • Автоматическое управление функциями продувки и утечки газа 
  • Автоматическая последовательность процессов 
  • Цифровой таймер (5-300 сек) с паузой 
  • Автоматическая вентиляция

Контроль толщины 

  • Контроллер MTM-20 с устройством заделки

Насосная система

Конфигурация

  • Комбинация турбонасоса / роторного насоса 
  • Опциональный насос с сухими спиралями вместо роторного насоса

Скорость откачки 

  • 300 л/мин при 0,1 мб

Время откачки

  • 1 мин до 1 x 10-3мб

Предельное давление

  • 1 x 10-5мб

Настольная система 

  • Роторный насос установлен на совместимом с настольным оборудованием антивибрационном столе 
  • Полностью металлическая система вакуумного соединения

Контроллер толщины

MTM-20 

  • Микропроцессорный 
  • 4-х разрядный дисплей, кнопка обнуления 
  • Кристалл 6 МГц с проверкой срока службы 
  • Скорость обновления 5 раз/сек

Диапазон толщины 

  • 0,0 - 999,9нм

Разрешение 

  • лучше, чем 0,1 нм

Диапазон плотности 

  • 0.50 - 30.00гм/см3

Диапазон коэффициентов обработки инструмента 

  • 0.25 - 8.00

Диапазон окончаний 

  • 0 - 999.9nm

Требуемые ресурсы

Электричество 

  • 100-120 или 200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, (пожалуйста, укажите)

Мощность 

  • 550VA макс.

Газ аргон 

  • Чистота, мин. 99,995% 
  • Регулируемое давление 5 - 6 фунтов на кв. дюйм (0,4 бар) 
  • Шланговое соединение, 6,0 мм (1/4") ID шланг

Размеры системы

Размеры

  • Ширина 600 мм, Глубина 600 мм, Высота 450 мм (с роторным насосом)

Вес

  • 40 кг (с роторным насосом)

Информация для заказа

8000 208HR Напылитель покрытия высокого разрешения для FESEM, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8002 208HR Иридиевое напылительное устройство для FESEM, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

8004 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, система сухой накачки, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8008 208HR Иридиевое напыление для FESEM, система сухой откачки, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

Системы 220 В, когда 115 В недоступно:

8000-220 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8002-220 208HR Иридиевое покрытие для FESEM, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

8004-220 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, система сухой накачки, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8008-220 208HR Иридиевое напыление для FESEM, система сухой откачки, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

Размеры основания (мм) 

Размеры основания

1. Блок управления 

2. Вакуумная камера 

3. Монитор толщины

4. Турбомолекулярный насос 

5. Роторный насос и антивибрационная база

Запасные части и расходные материалы для напылителей покрытий серии 208

  • 8025 О-образное кольцо, 150 мм, для стеклянного цилиндра для 208C, 208HR, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
  • 8006 Стеклянный цилиндр высокий (150 мм D x 150 мм H), для легкого осаждения, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
  • 8009 Стеклянный цилиндр короткий (150 мм Д х 65 мм В), для интенсивного осаждения, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
  • 8091-1 Металлическое проставочное кольцо, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
  • 93010 Заостренные углеродные стержни, наконечник с двойной шейкой 6,2x38 мм (1/4 "x1-1/2"), 60 Гц
  • 93015 Углеродные стержни, класс 1, 6,5x305 мм (1/4 "x12"), 60 Гц
  • 93016 Угольные стержни, класс 1, 6,5x305 мм (1/4 "x12"), 50 Гц
  • 57-10 Двухступенчатая точилка для угольных стержней, для стержней 1/4" (Cressington 108C & 208C)
  • 57-12 Сменные лезвия для двухступенчатой точилки для угольных стержней, для стержней 1/4"
  • 9611 Фильтр для вентиляционного входа, в комплекте со шлангом 1/4" для 108Auto, 108Auto/SE, 108Carbon, 108Carbon/SE, 208HR и 208C
  • 9612 Пружины ползуна угольного стержня для источника углерода Bradley
  • 9613 Ползун карбонового стержня, замена или запасной
  • 9614 Медные оплетки для источника углерода Bradley
  • 9615 Керамические изоляторы для источника углерода Bradley
  • 9616 Комплект изоляторов из тефлона для источника углерода Bradley
  • 9617 Сменный источник углерода Bradley для 108C и 208C
  • 93008 Сменные кристаллы для MTM-10/20
  • 93009 Сменные кристаллы для MTM-10/20
  • 9609 Фильтр масляного тумана для Pfeiffer DUO 3.0 (#7010)
  • 891-38 Масло Pfeiffer P3 для Pfeiffer DUO 3.0 (#7010)
  • 8000-20 Комплект смазки для турбонасоса 208HR и 208C ATP80 (не HiPace 80)
  • 16820-25 PELCO® Блок держателя решетки ТЭМ для 25 решеток ТЭМ
  • 16820-81 Блок держателя решетки PELCO® TEM для 81 решетки TEM

Общелабораторное оборудование